КнигоПровод.Ru28.03.2024

/Наука и Техника/Физика

Высокочастотный ёмкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения: Учебное пособие: Для вузов — Райзер Ю. П., Шнейдер М. Н., Яценко Н. А.
Высокочастотный ёмкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения: Учебное пособие: Для вузов
Учебное издание
Райзер Ю. П., Шнейдер М. Н., Яценко Н. А.
год издания — 1995, кол-во страниц — 320, ISBN — 5-7417-0006-3, 5-02-015184-X, тираж — 2500, язык — русский, тип обложки — твёрд. 7Б, масса книги — 370 гр., издательство — Физматлит
цена: 500.00 рубПоложить эту книгу в корзину
Сохранность книги — хорошая

Р е ц е н з е н т ы:
кафедра физики плазмы Санкт-Петербургского государственного технического университета (зав. каф. акад. В. Е. Голант)
к. ф.-м. н. В. Е. Брагин
А. Н. Быканов

Формат 60x88 1/16. Бумага книжно-журнальная. Печать офсетная
ключевые слова — высокочастотн, разряд, ёмкостн, свч, численн, лазер, плазм, ионн, приэлектродн, вольт-ампер, вах, амбиполярн, диффуз, стохастическ, нагрев, электронов, магнетрон, флуоресцен, оптогальван, спектроскоп, плазмохим, резонатор, волновод, быстропроточн

Дано ИСЧЕРПЫВАЮЩЕЕ изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде ёмкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления).

Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.

Табл. 4. Ил. 125. Библиогр. 431 назв.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие5
 
Г л а в а  1.  Физические основы7
 
1.1. Способы возбуждения высокочастотных разрядов7
1.2. Колебания электронов в осциллирующем электрическом поле10
1.3. Электродинамические характеристики плазмы и взаимодействие
плазмы высокочастотных разрядов с осциллирующими полями14
1.4. Рождение и гибель электронов; поддержание плазмы24
1.5. Простейшая модель высокочастотного ёмкостного разряда30
1.6. Постоянный положительный потенциал плазмы37
1.7. Стохастический нагрев электронов40
1.8. Две формы существования высокочастотного ёмкостного разряда46
 
Г л а в а  2.  Высокочастотные ёмкостные разряды среднего давления54
 
2.1. Приэлектродные слои пространственного разряда54
2.2. Экспериментальные вольт-амперные характеристики65
2.3. Вольт-амперные характеристики и нормальные плотности тока в
α-разряде (теория и численное моделирование)69
2.4. Параметры α—γ-перехода83
2.5. γ-разряд89
2.6. Почему при средних давлениях α—γ-переход совершается
скачком, а при низких — без видимого изменения параметров?103
2.7. Сосуществование двух форм ВЧЕ разряда в промежутке между
двумя электродами105
2.8. Высокочастотные ёмкостные разряды высокого давления108
2.9. Высокочастотные разряды с изолированными электродами112
 
Г л а в а  3.  Высокочастотные ёмкостные разряды низкого давления и
эффекты асимметрии123
 
3.1. Самосмещение в асимметричном разряде с блокировочной
ёмкостью123
3.2. Причинные связи, определяющие параметры слоёв и плазмы в
высокочастотном ёмкостном разряде, контролируемом
амбиполярной диффузией132
3.3. Динамика приэлектродных слоёв и ангармоничность тока в
асимметричном разряде141
3.4. Причины и характер ангармоничности тока в асимметричном и
симметричном разрядах146
3.5. Батарейный эффект в асимметричном разряде149
3.6. Условия «непрозрачности» плазмы для высокочастотного поля,
быстрой реакции электронов на его изменения и «отсутствия»
колебаний ионов в слоях155
3.7. Плавающий потенциал158
3.8. Приэлектродный слой161
3.9. Энергетический спектр ионов, бомбардирующих поверхность
электрода175
3.10. Высокочастотные разряды в электроотрицательных газах180
3.11. α—γ-переход без скачка плотности тока и γ-разряд187
3.12. Некоторые вопросы, касающиеся стохастического нагрева
электронов195
3.13. Численное моделирование высокочастотных разрядов низкого
давления199
3.14. Магнетронный высокочастотный разряд204
 
Г л а в а  4.  Некоторые вопросы методики измерений и техники
эксперимента209
 
4.1. Измерения напряжений на электродах, плазме, слоях и
соответствующие ВАХ210
4.2. Зондовые измерения постоянного потенциала пространства и
плазмы в высокочастотном разряде212
4.3. Активное зондирование высокочастотного разряда постоянным
электрическим током221
4.4. Метод изучения поперечной структуры разряда230
4.5. Оптические методы изучения пространственной структуры
высокочастотного разряда233
4.6. Лазерно-индуцированная флуоресценция и лазерная
оптогальваническая спектроскопия235
4.7. Получение на опыте и управление высокочастотным разрядом237
 
Г л а в а  5.  Использование высокочастотных ёмкостных разрядов для
возбуждения газовых лазеров и в плазменной технологии248
 
5.1. ВЧ разряд и газовые лазеры. Историческое введение248
5.2. Причины, побуждающие обращаться к высокочастотному разряду
при создании лазеров251
5.3. Влияние частоты на характеристики высокочастотного разряда и
параметры активной лазерной среды258
5.4. Принципы выбора параметров и конструкции CO2-лазеров с
диффузионным охлаждением, возбуждаемых поперечным
высокочастотным разрядом264
5.5. Оптические резонаторы волноводных и щелевых CO2-лазеров с
высокочастотным возбуждением275
5.6. Быстропроточные CO2-лазеры, возбуждаемые ВЧ разрядом и
комбинированным ВЧ разрядом с участием постоянного тока279
5.7. Лазеры с активными средами, отличными от CO2287
5.8. Магнитная стабилизация разряда в щелевых системах290
5.9. Плазмохимическая технология292
 
Список литературы299

Книги на ту же тему

  1. Физика плазмы (стационарные процессы в частично ионизованном газе): Учебное пособие для вузов, Синкевич О. А., Стаханов И. П., 1991
  2. Химия плазмы. Вып. 7, Смирнов Б. М., ред., 1980
  3. Теория электрической дуги в условиях вынужденного теплообмена, Жуков М. Ф., ред., 1977
  4. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее, Туманов Ю. Н., 2003
  5. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р. К., 2009
  6. Электронные лавины и пробой в газах, Ретер Г., 1968
  7. Сверхвысокочастотный пробой в газах, Мак-Доналд А., 1969
  8. Природа шаровой молнии, Сингер С., 1973
  9. Физика слабоионизованного газа (в задачах с решениями): Учебное пособие. — 2-е изд-е, перераб., Смирнов Б. М., 1978
  10. Физика химически активной плазмы, Русанов В. Д., Фридман А. А., 1984
  11. Итоги науки и техники: Физика плазмы. Том 5, Шафранов В. Д., ред., 1984
  12. Плазменные источники электронов, Крейндель Ю. Е., 1977
  13. Высокочастотные электронные лампы, Харвей А. Ф., 1948

© 1913—2013 КнигоПровод.Ruhttp://knigoprovod.ru