t.me/knigoprovod Отправить другу/подруге по почте ссылку на эту страницуВариант этой страницы для печатиНапишите нам!Карта сайта!Помощь. Как совершить покупку…
московское время22.05.19 18:24:57
На обложку
Философские повестиавторы — Вольтер
Белые мышиавторы — Блинкоу Н.
Методы компьютерной оптики: Учебник для вузов. — 2-е изд.,…авторы — Волков А. В., Головашкин Д. Л., Досколович Л. Л., Казанский Н. Л., Котляр В. В., Павельев B. C., Скиданов Р. В., Сойфер В. А., Соловьев B. C., Успленьев Г. В., Харитонов С. И., Хонина С. Н.
б у к и н и с т и ч е с к и й   с а й т
Новинки«Лучшие»Доставка и ОплатаМой КнигоПроводЗаказ редких книгО сайте
Книжная Труба   поиск по словам из названия
Авторский каталог
Каталог издательств
Каталог серий
Моя Корзина
Только цены
Рыбалка
Наука и Техника
Математика
Физика
Радиоэлектроника. Электротехника
Инженерное дело
Химия
Геология
Экология
Биология
Зоология
Ботаника
Медицина
Промышленность
Металлургия
Горное дело
Сельское хозяйство
Транспорт
Архитектура. Строительство
Военная мысль
История
Персоны
Археология
Археография
Восток
Политика
Геополитика
Экономика
Реклама. Маркетинг
Философия
Религия
Социология
Психология. Педагогика
Законодательство. Право
Филология. Словари
Этнология
ИТ-книги
O'REILLY
Дизайнеру
Дом, семья, быт
Детям!
Здоровье
Искусство. Культурология
Синематограф
Альбомы
Литературоведение
Театр
Музыка
КнигоВедение
Литературные памятники
Современные тексты
Худ. литература
NoN Fiction
Природа
Путешествия
Эзотерика
Пурга
Спорт

/Наука и Техника/Физика

Тонкие плёнки, их изготовление и измерение — Метфессель С.
Тонкие плёнки, их изготовление и измерение
Метфессель С.
год издания — 1963, кол-во страниц — 272, тираж — 7000, язык — русский, тип обложки — твёрд. картон, масса книги — 300 гр., издательство — Госэнергоиздат
цена: 299.00 рубПоложить эту книгу в корзину
Сохранность книги — хорошая

DÜNNE SCHICHTEN
(Ihre Herstellung und Messung)
Nach einem Manuskript von
S. METHFESSEL
Bearbeitet von
O. Böttger und Th. Mohr,
Assistent am II Physikalischen Institut
der Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg


Сокр. пер. с нем. А. Е. Меламида

Формат 84x108 1/32
ключевые слова — плёнок, гетероструктур, джозефсон, плазмон, сквид, тонк, покрыт, интерферометр, просветлен, селектив, поляризатор, светофильтр, интерференц, миниатюр, плёнк, измерен, распылен, квазиаморф, слоёв, микроскоп, химико-оптическ, поляризац, подложк, трурнит

Рассмотрены физические свойства тонких плёнок и особенности их строения. Подробно изложены вопросы измерения тонких плёнок. Книга рассчитана на работников научно-исследовательских институтов, ОКБ, а также преподавателей и студентов специальных вузов.


В настоящее время тонкие плёнки находят всё большее применение в различных областях техники: в электронике, технике СВЧ, полупроводниковой технике и т. д. За последние годы значительное развитие получила оптика тонких покрытий, позволившая создать новые интерферометрические методы и устройства, а также существенно расширить возможности методов, существовавших ранее. Тонкие плёнки применяются для просветления оптики, изготовления селективных зеркал, поляризаторов, интерференционных светофильтров, а также используются в интерференционной микроскопии. Особенно важное значение имеет применение тонких плёнок в области микроминиатюризации, которой принадлежит большое будущее и в которой на основе тонких плёнок создаются как пассивные, так и активные элементы схем.

Столь широкие возможности, заложенные в тонких плёнках, объясняют особый интерес инженерно-технических работников к физическим свойствам, технологии изготовления, измерениям параметров и применениям их.

Несмотря на обширную журнальную литературу по тонким плёнкам, существует очень мало книг, систематизирующих результаты исследований в этой области. Учитывая это, Издательство решило издать перевод книги Метфесселя, сделав некоторые сокращения в тех разделах, которые наиболее известны нашим читателям или уже устарели.

Монография Метфесселя содержит шесть основных разделов. В первом излагаются методы изготовления тонких плёнок. Во втором рассматриваются свойства тонких металлических плёнок и отклонения этих свойств от свойств массивных металлов. Третий, четвёртый, пятый и шестой разделы посвящены различным методам измерения толщин тонких плёнок.

Следует отметить, что вопросы технологии изготовления и свойств тонких плёнок излагаются в книге в сравнительно очень малом объёме и наибольший интерес в монографии представляет систематизированное изложение вопросов измерения толщин плёнок. Измерение толщин имеет большое значение при исследовании свойств тонких плёнок, так же как и при их использовании. Эти измерения представляют, однако, серьёзные трудности вследствие неопределённости структуры, зависящей от условий нанесения и отличия параметров тонких плёнок от параметров соответствующих массивных металлов.

В книге Метфесселя рассмотрены различные методы определения толщин тонких плёнок и указаны границы применения этих методов. Описаны методы химические, электрические (измерение электрического сопротивления или ёмкости), методы измерения путём взвешивания, а также разные оптические методы (по измерениям интенсивности света, его поляризации, интерференционные методы и др.). В этих разделах материал книги интересен и в настоящее время для большого числа инженеров и научных работников различных областей науки и техники.

ПРЕДИСЛОВИЕ К РУССКОМУ ИЗДАНИЮ

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловия3
 
Г л а в а  п е р в а я.  Методы изготовления тонких плёнок9
 
1. Конденсационные методы9
Катодное распыление10
Испарение металлов в вакууме22
Литература36
 
Г л а в а  в т о р а я.  Особые свойства тонких металлических плёнок42
 
1. Введение42
2. Электропроводность и структура44
Теория плоского слоя44
Теория зёрен47
Теория частично кристаллической (квазиаморфной) структуры54
Сравнение теорий60
3. Плотность61
4. Оптические свойства64
Теоретические предпосылки64
Обычные оптические свойства тонких слоёв67
Экспериментальные результаты76
Истолкование экспериментальных результатов78
Ход дисперсии оптических постоянных85
Истолкование результатов88
Определение абсолютной разности фаз для тонких плёнок92
Дисперсия скачка фазы94
Теоретическое объяснение результатов94
Литература97
 
Г л а в а  т р е т ь я.  Определение толщин механическими методами10З
 
1. Определение толщин слоя посредством измерения длины103
Обзор механических измерительных приборов103
Измерения при помощи клина104
Механические измерители толщин с оптическими приспособлениями105
Измерение толщины посредством микроскопа108
2. Определение толщины слоя по количеству вещества108
Измерения во время образования слоя108
Измерение готовых слоёв124
Литература128
 
Г л а в а  ч е т в ё р т а я.  Оптические методы определения толщины130
 
1. Метод двух микроскопов (по С. Танака)130
2. Химико-оптический метод (колориметрия)132
3. Определение толщины методом измерения интенсивности света133
Общее рассмотрение вопроса133
Упрощения в случае весьма тонких слоёв134
Упрощения в случае толстых слоёв140
Определение толщин методом сравнения интенсивностей света145
4. Определение толщин посредством поляризационных измерений147
Метод отражения (Эссерса-Рейндорфа)147
Приближённая формула для весьма тонких слоёв154
Методы определения толщины прозрачных слоёв на металлической
подложке158
Литература162
 
Г л а в а  п я т а я.  Интерференционный метод определения толщин
слоёв163
 
1. Основные соображения163
Подразделение материала163
Вывод условий максимума и минимума для плоской пластинки164
Полосы равного наклона и равной толщины168
Зависимость разности хода от длины волны170
2. Определение толщин при помощи интерференционных кривых равной
толщины170
Влияние нестрого параллельного света (определение толщины клина
по Фейснеру)170
Определение толщины клина по Кестерсу173
Определение толщин слоёв по Моллво178
Определение толщины плоскопараллельных слоёв при помощи
воздушного клина179
Измерение толщины посредством колец Ньютона195
Измерение толщин плоских металлических слоёв197
Определение толщины при помощи двойной призмы Кестерса203
Определение толщины интерференционным микроскопом217
3. Измерение толщин при помощи интерференции равного наклона219
Рассмотрение интенсивности света, отражённого от тонких слоёв219
Определение толщины посредством сравнения интенсивностей света222
Измерительная установка Трурнита и Бергольда (для определения
линейного расширения молекул белков)223
4. Определение толщины по цветам тонких плёнок227
Образование цветов227
Измерение толщины посредством определения цвета229
Определение толщин при помощи спектроскопа по Вернике235
Определение толщины путём создания двух систем полос (метод
Винера)239
Определение толщины по скачку фазы (метод Винера)248
5. Определение толщины при помощи полос Юнга248
6. Определение толщин при помощи интерференции рентгеновых лучей252
Вводные замечания252
Методы измерения256
Измерительная установка по Киссигу261
Литература263
 
Г л а в а  ш е с т а я.  Электрические методы определения толщины
слоёв266
 
1. Определение толщины слоя посредством измерения сопротивления266
2. Определение толщины слоёв по измерению их ёмкости и прочие методы270
Литература272

Книги на ту же тему

  1. Стохастическая магнитная структура плёнок с микропоровой системой, Юдин В. В., 1987
  2. Массоперенос в тонких плёнках, Колешко В. М., Белицкий В. Ф., 1980
  3. Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
  4. Эффект Джозефсона в сверхпроводящих туннельных структурах, Кулик И. О., Янсон И. К., 1970
  5. Введение в физику поверхности, Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А., Зотов А. В., Катаяма М., 2006
  6. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции, Волькенштейн Ф. Ф., 1987
  7. Физико-химические основы производства полимерных плёнок: Учебное пособие для вузов, Гуль В. Е., Дьяконова В. П., 1978
  8. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твёрдого тела, Экштайн В., 1995
  9. Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987
  10. Электроны и фононы в ограниченных полупроводниках, Басс Ф. Г., Бочков В. С, Гуревич Ю. Г., 1984
  11. Поверхностные свойства германия и кремния, Боонстра А., 1970
  12. Химическое состояние и атомная структура поверхности г.ц.к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами, Конов В. И., Ельцов К. Н., ред., 2003
  13. Механизмы вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела, Новиков Ю. А., ред., 1998
  14. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике, Бериш Р., Виттмак К., Легрейд Н., Мак-Кланахан Э., Сандквист Б., Хауффе В., Хофер В., Ю М., 1998
  15. Системы-на-кристалле. Проектирование и развитие, Немудров В., Мартин Г., 2004
  16. Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами, Гаврилин В. В., 1991
  17. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии, 2006
  18. Интерферометр с дифракционной решёткой, Васильев Л. А., Ершов И. В., 1976
  19. Прикладная оптика и оптические измерения (учебник для техникумов), Гвоздева Н. П., Коркина К. И., 1976
  20. Интерференция и дифракция света. Основы теории и применения, Нагибина И. М., 1974
  21. Оптические интерферометры, Скоков И. В., 1979
  22. Цветовые измерения, Кривошеев М. И., Кустарев А. К., 1990
  23. Прикладная оптика и оптические измерения, Мальцев М. Д., Каракулина Г. А., 1968
  24. Теория оптических систем и оптические измерения; Учебник для техникумов, Гвоздева Н. П., Коркина К. И., 1981
  25. Интерферометры. Основы инженерной теории, применение, Коломийцов Ю. В., 1976

Напишите нам!© 1913—2013
КнигоПровод.Ru
Рейтинг@Mail.ru btd.kinetix.ru работаем на движке KINETIX :)
elapsed time 0.022 secработаем на движке KINETIX :)